жарым өткөргүчтүү газ чыпкалар

Эмне үчүн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде газ чыпкаларын колдонуу керек? 

Газ чыпкалары бир нече маанилүү себептерден улам жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде маанилүү:

1. Контаминанттарды жок кылуу

Жарым өткөргүчтөрдү жасоо көптөгөн сезгич процесстерди камтыйт, анда эң кичинекей булгоочу заттар да,

чаң бөлүкчөлөрү, нымдуулук же химиялык калдыктар терс таасирин тийгизиши мүмкүн. Газ чыпкалары алынып салынат

бөлүкчөлөр, аралашмалар жана технологиялык газдардан абадагы булгоочу заттар, таза чөйрөнү камсыз кылуу

жана жарым өткөргүч пластинкалардын бүтүндүгүн сактоо.

2. Ультра тазалык стандарттарын сактоо

Жарым өткөргүч өнөр жайы аралашмалар сыяктуу, колдонулган газдардын өтө жогорку деңгээлдеги тазалыгын талап кылат

жарым өткөргүч приборлордогу кемчиликтерге алып келет. Газ чыпкалары алдын алуу, өтө таза газ сапатына жетүүгө жардам берет

булгануу жана буюмдардын ырааттуулугун жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу.

3. Коргоочу жабдуулар

Газдардагы булгоочу заттар жарым өткөргүч пластинкаларга гана эмес, сезгичтерге да зыян келтириши мүмкүн

өндүрүш процессинде колдонулуучу жабдуулар, мисалы, химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD) реакторлору жана

оюу системалары. Газ чыпкалары бул кымбат машиналарды бузулуудан коргоп, коркунучун азайтат

токтоп калуу жана кымбат ремонт.

4. Түшүмдүүлүктү жоготууга жол бербөө

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кирешелүүлүк өтө маанилүү, мында кемчиликтер өндүрүштө олуттуу жоготууга алып келиши мүмкүн.

Ал тургай, бир бөлүкчө же химиялык аралашма түшүмдүүлүктү жана кирешелъълъгъ таасирин тийгизип, түшүм жоготууга алып келиши мүмкүн.

Газ чыпкалары процесстин газдарынын таза болушун камсыздайт, булганууну азайтат жана түшүм жоготууларын азайтат.

5. Продукциянын сапатын камсыз кылуу

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө ырааттуулук жана сапат биринчи орунда турат. Булганган газдар пайда болушу мүмкүн

ишенимсиз жарым өткөргүч приборлорго алып келген карама-каршылыктар. Газ чыпкаларын колдонуу менен, өндүрүүчүлөр мүмкүн

ар бир партия талап кылынган катуу сапат стандарттарына жооп берет деп кепилдик, жогорку аппаратты алып келет

аткаруу жана узак өмүр.

6. Токтотуу убактысын кыскартуу

Технологиялык газдардагы булгоочу заттар жабдуулардын иштебей калышына алып келиши мүмкүн, техникалык тейлөөнү же алмаштырууну талап кылат.

Газ чыпкаларын колдонуу менен, өндүрүүчүлөр күтүлбөгөн токтоп калууларды кыскарта алат, операциялык натыйжалуулукту сактап, жана

маанилүү жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартуу.

7. Химиялык шайкештик

Жарым өткөргүч процесстеринде колдонулган газдардын көбү жогорку реактивдүү же коррозияга жөндөмдүү. Газ фильтрлери бар

Бул катаал химиялык чөйрөлөргө туруштук берүү үчүн иштелип чыккан, ошол эле учурда булганычтарды эффективдүү чыпкалоо, камсыз кылуу

коопсуз жана натыйжалуу кайра иштетүү.

Жалпысынан, газ чыпкалары жарым өткөргүчтүн тазалыгын, ишенимдүүлүгүн жана коопсуздугун сактоо үчүн абдан маанилүү.

өндүрүш процесси, ал эми жогорку сапаттагы, кемчиликсиз жарым өткөргүч буюмдарды жетүү үчүн жардам берет

ошондой эле баалуу жабдууларды коргоо.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде газ чыпкаларынын түрлөрү

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде ар кандай газ чыпкаларынын ар кандай түрлөрүн чечүү үчүн колдонулат

газдын тазалыгы жана жабдууларды коргоо менен байланышкан этаптар жана кыйынчылыктар.

Көбүнчө колдонулган газ чыпкаларынын түрлөрү төмөнкүлөрдү камтыйт:

1. Бөлчөкчө чыпкалары

*Максат: Технологиялык газдардан бөлүкчөлөрдү, чаңдарды жана башка катуу булгоочу заттарды тазалоо үчүн.

* Колдонуу: Көп учурда пластиналарды, процесстик камераларды жана жабдууларды бөлүкчөлөрдүн булгануусунан коргоо үчүн ар кандай этаптарда орнотулат.

*Материалдар: Адатта агломерацияланган дат баспас болоттон жасалган, PTFE, же бышык жана химиялык шайкештикти камсыз кылуучу башка материалдар.

2. Молекулярдык же химиялык фильтрлер (алуучу чыпкалар)

*Максат: Технологиялык газдарда болушу мүмкүн болгон ным, кычкылтек же органикалык кошулмалар сыяктуу белгилүү молекулярдык булгоочу заттарды жок кылуу үчүн.

* Колдонуу: Жогорку тазалыктагы газ талап кылынганда, мисалы, чөктүрүүдө же оюу процессинде колдонулат.

*Материалдар: Көбүнчө активдештирилген көмүр, цеолит же молекулярдык кирлерди кармоо үчүн атайын иштелип чыккан башка адсорбент материалдары менен курулат.

3. Жогорку тазалыктагы газ чыпкалары

*Максат: Кичинекей ыпластык продуктунун сапатына таасир эте турган жарым өткөргүч процесстери үчүн маанилүү болгон өтө жогорку тазалыктагы (UHP) газ стандарттарына жетишүү.

* Колдонуу: Бул чыпкалар Химиялык Бууну Депозитациялоо (CVD) жана Плазма Эттинг сыяктуу процесстерде колдонулат, бул жерде аралашмалар олуттуу кемчиликтерди жаратышы мүмкүн.

*Материалдар: Жогорку басымда жана экстремалдык шарттарда бүтүндүгүн сактоо үчүн атайын мембраналар менен дат баспас болоттон жасалган.

4. Жаппай газ чыпкалары

*Максат: Газдарды кирүү жеринде же өндүрүш линияларына бөлүштүрүүгө чейин тазалоо үчүн.

* Колдонуу: Газдарды жеке шаймандарга же реакторлорго берүүдөн мурун дүңүнөн чыпкалоо үчүн газ жеткирүү системасынын агымынын өйдө жагына жайгаштырылган.

*Материалдар: Бул чыпкалар көбүнчө чоң көлөмдөгү газдарды иштетүү үчүн жогорку кубаттуулукка ээ.

5. Колдонуу пункту (POU) газ чыпкалары

*Максат: Ар бир конкреттүү кайра иштетүү куралына жеткирилген газдар ар кандай булгоочу заттардан таза болушун камсыз кылуу.

* Колдонуу: Технологиялык жабдууларга газдар киргизилгенге чейин орнотулган, мисалы, оюп же чөктүрүүчү камералар.

*Материалдар: Агломерацияланган металл же PTFE сыяктуу жарым өткөргүч процесстеринде колдонулган реактивдүү газдарга шайкеш келген материалдардан жасалган.

6. Inline газ чыпкалары

*Максат: Бөлүштүрүү системасы аркылуу кыймылдаган газдар үчүн линия фильтрациясын камсыз кылуу.

* Колдонуу: Негизги пункттарда газ линияларынын ичинде орнотулуп, система боюнча үзгүлтүксүз чыпкалоону камсыз кылат.

*Материалдар: Газдар менен химиялык шайкештикти камсыз кылуу үчүн агломерацияланган дат баспас болоттон жасалган же никель.

7. Жер үстүндөгү газ чыпкалары

*Максат: Бөлүкчөлөрдү жана молекулалык булгоочу заттарды жок кылуу үчүн газ панелинин компоненттерине түз орнотулат.

* Колдонуу: Тар мейкиндиктерде кеңири таралган бул чыпкалар критикалык тиркемелерде эффективдүү колдонуу пунктун чыпкалоону камсыз кылат.

*Материалдар: Туруктуулугу жана жарым өткөргүч өндүрүш газдары менен шайкештиги үчүн жогорку тазалыктагы дат баспас болоттон жасалган.

8. Суб-микрон чыпкалары

*Максат: Жарым өткөргүч процесстеринде дагы эле олуттуу кемчиликтерди жаратышы мүмкүн болгон өтө кичинекей бөлүкчөлөрдү чыпкалоо үчүн.

* Колдонуу: Фотолитография сыяктуу ультра таза газ менен камсыз кылуу үчүн фильтрациянын эң жогорку деңгээлин талап кылган процесстерде колдонулат.

*Материалдар: Эң кичинекей бөлүкчөлөрдү да эффективдүү кармай турган жогорку тыгыздыктагы агломерацияланган металл же керамикалык материалдар.

9. Активдештирилген көмүр чыпкалары

*Максат: Органикалык булгоочу заттарды жана учуучу газдарды жок кылуу.

* Колдонуу: Вафли булганышын же реакциянын бузулушун алдын алуу үчүн газ түрүндөгү аралашмаларды алып салуу керек болгон колдонмолордо колдонулат.

*Материалдар: Органикалык молекулаларды адсорбциялоого арналган активдештирилген көмүр материалдары.

10.Агломерацияланган металл газ чыпкалары

*Максат: Структуралык бекемдикти жана жогорку басымга туруштук берүү менен бирге эффективдүү бөлүкчөлөрдү жана кирлерди жок кылуу.

* Колдонуу: Күчтүү чыпкалоо зарыл болгон жарым өткөргүч процессинин бир нече этаптарында кеңири колдонулат.

*Материалдар: Көбүнчө катаал чөйрөгө жана химиялык заттарга туруштук берүү үчүн агломерацияланган дат баспас болоттон же башка металл эритмелеринен жасалган.

11.Гидрофобдук газ чыпкалары

*Максат: Нымдуулуктун же суу буусунун газ агымына киришине жол бербөө үчүн, бул нымдуулуктун аз өлчөмдөгү бөлүгүнө да сезгич айрым процесстерде маанилүү.

* Колдонуу: Көбүнчө вафли кургатуу же плазмалык оюу сыяктуу процесстерде колдонулат.

*Материалдар: Гидрофобдук мембраналар, мисалы, PTFE, газдар нымдуулуктан булганбайт.

Газ чыпкаларынын бул ар кандай түрлөрү кылдаттык менен алардын өзгөчө касиеттерине, материалдык шайкештигине жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстеринин уникалдуу шарттарына ылайыктуулугуна жараша тандалып алынат. Фильтрлердин туура айкалышы газдын тазалыгынын эң жогорку деңгээлин сактоо, процесстин туруктуулугун камсыз кылуу жана жарым өткөргүч түзүлүштөрдөгү кемчиликтерди алдын алуу үчүн өтө маанилүү.

Жарым өткөргүч газ чыпкалары жөнүндө кээ бир көп берилүүчү суроолор

Көп берилүүчү суроолор 1:

Жарым өткөргүчтүү газ чыпкалары деген эмне жана алар эмне үчүн маанилүү?

Жарым өткөргүчтүү газ чыпкалары жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде маанилүү компоненттер болуп саналат.

Алар, мисалы, технологиялык газдардын аралашмаларды жана булгоочу заттарды алып салуу үчүн иштелип чыкканкычкылтек,

азот, суутек жана ар кандай химиялык газдар.

Бул аралашмалар жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн сапатына, түшүмдүүлүгүнө жана ишенимдүүлүгүнө олуттуу таасир этиши мүмкүн.

Газ агымдарын эффективдүү фильтрлөө менен жарым өткөргүчтүү газ чыпкалары төмөнкүлөргө жардам берет:

1. Жогорку тазалыкты сактоо:

Өндүрүш процессинде колдонулган газдар аппараттын иштешин начарлатуучу булгоочу заттардан таза болушун камсыз кылыңыз.

2.жабдуулардын бузулушун алдын алуу:

Сезимтал жарым өткөргүч жабдууларды бөлүкчөлөрдөн жана химиялык булгануудан коргоңуз, бул кымбат токтоп калууга жана оңдоого алып келиши мүмкүн.

3.Продукциянын түшүмүн жакшыртуу:

Өндүрүштүн жогорку түшүмдүүлүгүнө алып келүүчү газ аралашмаларынан келип чыккан кемчиликтерди жана бузулууларды азайтыңыз.

4.Аппараттын ишенимдүүлүгүн жогорулатуу:

Булганууга байланыштуу маселелерден улам жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн узак мөөнөттүү бузулушун минималдаштыруу.

Көп берилүүчү суроолор 2:

Жарым өткөргүчтүү газ чыпкаларынын жалпы түрлөрү кандай?

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө газ чыпкаларынын бир нече түрлөрү колдонулат, алардын ар бири алып салууга багытталган

булгоочу заттардын конкреттүү түрлөрү.

таралган түрлөрү кирет:

1. Бөлүк чыпкалары:

Бул чыпкалар газ агымдарынан чаң, була жана металл бөлүкчөлөрү сыяктуу катуу бөлүкчөлөрдү жок кылат.

Алар, адатта, агломерацияланган металл, керамика же мембраналык чыпкалар сыяктуу материалдардан жасалат.

2. Химиялык фильтрлер:

Бул чыпкалар суу буусу, углеводороддор жана жегич газдар сыяктуу химиялык кирлерди жок кылат.

Алар көбүнчө активдештирилген көмүр сыяктуу материалдарды колдонуп, адсорбция же абсорбция принциптерине негизделет.

молекулярдык электер, же химиялык сорбенттер.

3.Айкалыштырылган чыпкалар:

Бул чыпкалар эки түрүн жок кылуу үчүн бөлүкчөлөрдүн жана химиялык чыпкалардын мүмкүнчүлүктөрүн бириктирет

булгоочу заттар. Алар көбүнчө жогорку тазалык зарыл болгон критикалык колдонмолордо колдонулат.

КБС 3:

Жарым өткөргүчтүү газ чыпкалары кантип тандалат жана долбоорлонот?

Жарым өткөргүчтүү газ чыпкаларын тандоо жана долбоорлоо бир нече факторлорду камтыйт, анын ичинде:

* Газдын тазалыгына талаптар:

Белгилүү газ агымы үчүн керектүү тазалык деңгээли чыпкалоонун эффективдүүлүгүн жана кубаттуулугун аныктайт.

* Агым ылдамдыгы жана басым:

Чыпкалоочу газдын көлөмү жана иштөө басымы чыпканын өлчөмүнө, материалына жана конфигурациясына таасир этет.

* Контаминанттын түрү жана концентрациясы:

Газ агымында болгон булгоочу заттардын спецификалык түрлөрү чыпкалоочу каражаттарды жана анын тешикчелеринин өлчөмүн тандоону талап кылат.

* Температура жана нымдуулук:

Иштөө шарттары чыпканын иштешине жана иштөө мөөнөтүнө таасир этиши мүмкүн.

* Наркы жана тейлөө:

Фильтрдин баштапкы баасы жана анын үзгүлтүксүз тейлөө талаптары каралышы керек.

Бул факторлорду кылдаттык менен карап чыгуу менен инженерлер спецификалык талаптарга жооп берген газ чыпкаларын тандап, долбоорлой алышат

жарым өткөргүч өндүрүш процессинин муктаждыктары.

Жарым өткөргүч өндүрүшүндө газ чыпкаларын канчалык көп алмаштыруу керек?

Жарым өткөргүч өндүрүшүндө газ чыпкаларын алмаштыруу жыштыгы бир нече факторлорго, анын ичинде түрүнө жараша болот

процесс, булгоочу заттардын деңгээли жана колдонулуп жаткан фильтрдин өзгөчө түрү. Эреже катары, газ чыпкалары үзгүлтүксүз алмаштырылат

булгануу коркунучун алдын алуу үчүн техникалык тейлөө графиги,көп учурда ар бир 6-12 ай, колдонуу шарттарына жараша

жана чыпка өндүрүүчүнүн сунуштары.

Бирок, алмаштыруу графиктери иштөө чөйрөсүнө жараша ар кандай болушу мүмкүн. Мисалы:

*Жогорку булгоочу процесстер:

Чыпкаларды тез-тез алмаштыруу керек болушу мүмкүн

бөлүкчөлөр же молекулалык булгануу.

* Критикалык колдонмолор:

Өтө жогорку тазалыкты талап кылган процесстерде (мисалы, фотолитография) чыпкалар көбүнчө алмаштырылат

газдын сапаты бузулбасын алдын ала камсыз кылуу.

Чыпкадагы дифференциалдык басымды көзөмөлдөө фильтрди качан алмаштыруу керектигин аныктоонун кеңири таралган ыкмасы болуп саналат.

Булгоочу заттар топтолгон сайын чыпкадагы басымдын төмөндөшү күчөйт, бул натыйжалуулуктун төмөндөшүн көрсөтөт.

Фильтрлердин эффективдүүлүгү төмөндөй электе алмаштыруу өтө маанилүү, анткени газдын тазалыгынын ар кандай бузулушу олуттуу кемчиликтерге алып келиши мүмкүн,

түшүмдүүлүктү азайтат, ал тургай жабдуулардын бузулушуна алып келет.

Жарым өткөргүч колдонуу үчүн газ чыпкалары кандай материалдардан жасалган?

Жарым өткөргүч колдонмолорунда колдонулган газ чыпкалары эң жогорку тазалык стандарттарын сактай ала турган материалдардан жасалган

жана өндүрүштө табылган катаал чөйрөлөргө туруштук берет. Жалпы материалдар төмөнкүлөрдү камтыйт:

* Дат баспас болот (316L): Химиялык туруктуулугу, механикалык бекемдиги жана эң көп колдонулган материал

агломерациялоо технологиясын колдонуу менен так тешикчелердин өлчөмдөрү менен даярдоо мүмкүнчүлүгү. Бул эки реактивдүү чыпкалоо үчүн ылайыктуу

жана инерттүү газдар.

*PTFE (политетрафторэтилен): PTFE жогорку реактивдүү же коррозиялык чыпкалоо үчүн колдонулган химиялык инерттүү материал

газдар. Ал мыкты химиялык шайкештикке жана гидрофобдук касиетке ээ, бул нымдуулукка эң ылайыктуу

процесстер.

* Никель жана Хастелло:

Бул материалдар жогорку температурада колдонуу үчүн же агрессивдүү химиялык заттарды камтыган процесстер үчүн колдонулат

дат баспас болоттон бузулушу мүмкүн болгон жерде.

* Керамика:

Керамикалык чыпкалар экстремалдык температурага туруштук берүү талап кылынган колдонмолор үчүн же субмикрон үчүн колдонулат

бөлүкчөлөрдү чыпкалоо.

Материалды тандоо газдын түрүнө, реактивдүү түрлөрдүн болушуна, температурага жана

процесстин башка параметрлери. Материалдар эч кандай аралашмаларды киргизбөө үчүн реактивдүү болбошу керек

же бөлүкчөлөрдү процесске киргизип, ошону менен жарым өткөргүчтөрдү жасоо үчүн талап кылынган газдын тазалыгынын деңгээлин сактайт.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө колдонуу чекитинин (POU) чыпкаларынын ролу кандай?

Колдонуу пункту (POU) чыпкалары жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө абдан маанилүү, анткени алар газдардын дароо тазаланышын камсыздайт.

процесс куралдарына кирүү. Бул чыпкалар газ агымына кирген булгоочу заттарга каршы акыркы коргоону камсыз кылат

сактоо, ташуу же бөлүштүрүү учурунда, ошону менен процесстин туруктуулугун жана продукциянын сапатын жогорулатат.

POU чыпкаларынын негизги артыкчылыктары:

*Критикалык жабдууларга жакын жайгаштырылат (мисалы, оюп же чөктүрүүчү камералар) булгануунун пластинкага жетүүсүн болтурбоо үчүн.

*Газ менен иштөө тутуму же айлана-чөйрөгө таасир этиши мүмкүн болгон бөлүкчөлөрдү жана молекулалык кирлерди жок кылыңыз.

* Технологиялык куралга газдын мүмкүн болушунча жогорку сапатын камсыз кылуу, жабдууларды коргоо жана өндүрүлгөн түзүлүштөрдүн сапатын жогорулатуу.

* Процесстин өзгөрүлмөлүүлүгүн азайтыңыз, түшүмдүүлүктү жогорулатыңыз жана кемчиликтердин деңгээлин азайтыңыз.

* Майда-чүйдө аралашмалар да өндүрүмдүүлүккө жана продукциянын ишенимдүүлүгүнө олуттуу таасир эте турган өнүккөн жарым өткөргүч чөйрөлөрдө алмаштырылгыс.

Газ чыпкалары жарым өткөргүч процесстеринде жабдуулардын токтоп калышын кантип алдын алат?

Газ чыпкалары жарым өткөргүч процесстеринде жабдыктардын токтоп калуусунун алдын алат, бул процесс газдардын дайыма таза болушун камсыз кылат.

өндүрүштүк жабдууларга зыян келтириши мүмкүн болгон булгоочу заттар. Жарым өткөргүчтөрдү жасоо жогорку деңгээлде колдонууну камтыйт

сезгич жабдуулар, анын ичинде тундурма камералары, плазмалык оюу машиналары жана фотолитография системалары.

Чаң, ным же реактивдүү аралашмалар сыяктуу булгоочу заттар бул машиналарга кирсе, алар бир катар көйгөйлөрдү жаратышы мүмкүн,

клапандардын жана соплолордун тыгынынан пластинанын беттерине же реактордун ички бөлүгүнө чейин.

Жогорку сапаттагы газ чыпкаларын колдонуу менен, өндүрүүчүлөр бул булгоочу заттардын киришине жол бербейт,

пландан тышкары техникалык тейлөө жана жабдуулардын бузулушу. Бул стабилдүү өндүрүш графиктерин сактоого, минималдаштырууга жардам берет

кымбат токтоп калуу жана оңдоо же алмаштыруу менен байланышкан олуттуу чыгымдарды болтурбоо.

Мындан тышкары, жакшы сакталган чыпкалар агым контроллерлору, клапандар жана реакторлор сыяктуу негизги компоненттердин иштөө мөөнөтүн узартууга жардам берет.

ошону менен өндүрүш процессинин жалпы натыйжалуулугун жана рентабелдүүлүгүн жогорулатуу.

Ошентип, жарым өткөргүч газ чыпкалары жөнүндө кээ бир маалыматтарды текшергенден кийин, дагы бир нече суроолоруңуз болсо.

Жогорку сапаттагы газ чыпкалоо чечимдери менен жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессиңизди оптималдаштырууга даярсызбы?

Эксперттик жетекчилик жана муктаждыктарыңызды канааттандыруу үчүн ыңгайлаштырылган чечимдерди алуу үчүн бүгүн HENGKO менен байланышыңыз.

Жарым өткөргүчтүү газ чыпкасы тууралуу маалыматты текшергенден кийин, эгер сизде дагы суроолор пайда болсо?

Жогорку сапаттагы газ чыпкалоо чечимдери менен жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессиңизди оптималдаштырууга даярсызбы?

Эксперттик жетекчилик жана муктаждыктарыңызды канааттандыруу үчүн ыңгайлаштырылган чечимдерди алуу үчүн бүгүн HENGKO менен байланышыңыз.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүзka@hengko.comкөбүрөөк маалымат алуу үчүн.

Биздин команда өндүрүштүн натыйжалуулугун жана продуктунун сапатын жогорулатууга жардам берүү үчүн бул жерде.