Өтө таза жарым өткөргүч газ системалары үчүн өркүндөтүлгөн IGS бетине орнотулган C-мөөр чыпкалары
Сүрөттөмө
HENGKO беттик орнотуу чыпкалары жарым өткөргүч OEM шаймандарында колдонулган интеграцияланган газ системаларынын талаптуу талаптарын канааттандыруу үчүн иштелип чыккан. 0,003 мкм деңгээлде тармакта алдыңкы чыпкалоону сунуштаган бул чыпкалар 120 slpmде ≥99.9999999% (9-LRV) бөлүкчөлөрдү кармоо эффективдүүлүгү менен өзгөчө иштөөнү жана ишенимдүүлүктү камсыз кылат.
Чыпка элементи жана корпусу үчүн бышык 316L дат баспас болоттон жасалган порошоктон жасалган бул чыпкалар SEMI F86-0304 спецификацияларына шайкеш келет, алар C-мөөр конфигурациясы менен 1,125 дюймдук газ бөлүштүрүү системалары үчүн ылайыкташтырылган эки порттуу компоненттерди камтыйт. Алар 100°C температурада 3,4 МПа максималдуу кириш басымын жана 100°C температурада 0,69 МПа максималдуу иштөө басымынын айырмасын колдойт.
Бул адистештирилген чыпкалар C жана W типтеги пломбалардын спецификацияларына шайкеш келет, алар бөлүкчөлөрдү бөлүп чыгаруу менен ылдыйкы тазалыкка жетишет
Ra бети менен капталганСырткы бетинде < 1,6 мкм жана RaИчки бетинде < 0,13 мкм, алар 460°C чейинки жогорку температурага туруштук бере алат. Оңой интеграциялоо жана модулдук дизайнды жаңыртуу үчүн иштелип чыккан бул чыпкалар орнотууну жана техникалык тейлөөнү жөнөкөйлөтүп, жарым өткөргүч газ жеткирүү жана башкаруу колдонмолорунда системанын иштешин оптималдаштырууга жардам берет.
Продукциянын өзгөчөлүгү
▶ Жалпысынан 316L дат баспас болоттон жасалган конструкция
▶ Миниатюралык дизайн, компакттуу түзүлүш, орун үнөмдөө
▶ Мыкты газ алмаштыруу жана десорбциялык мүнөздөмөлөрү
▶ Жогорку температурага, жогорку басымга жана коррозияга туруктуу
▶ Электр менен жылтыратылган 316L дат баспас болоттон жасалган корпус
▶ Оңой жана натыйжалуу орнотуу жана тейлөө
▶ Механикалык пломбалоо, структуралык жактан чөйрөгө ширетилбеген
Маалымат баракчасы
| Техникалык параметрлер | Баалуулуктар |
|---|---|
| Фильтр элементинин материалы | 316L дат баспас болоттон жасалган агломерленген порошок |
| Турак жай материалы | 316L дат баспас болоттон жасалган |
| Максималдуу кирүү басымы | 100°C температурада 3,4 МПа |
| Максималдуу иштөө дифференциалдуулугу | 100°C температурада 0,69 МПа |
| Гелийдин агып кетүү ылдамдыгын текшерүү | 1x10⁻¹¹ куб см/мүн |
| Гелийдин агып кетүү ылдамдыгын сыноо | 1x10⁻⁹ cc/мин |
| Беттик дарылоо | Сырткы бет Ra< 1,6 мкм |
| Ички бети Ra< 0.13 мкм | |
| Максималдуу иштөө температурасы | 460°C |
| Бөлүкчөлөрдү кармоонун натыйжалуулугу | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (шилтеме MPPS, бардык бөлүкчөлөр) |
| Суунун ылдый жагындагы тазалык | Бөлүкчөлөрдүн бөлүнүп чыгышы:<0,03 бөлүкчө/литр (< 1 бөлүкчө/фут³) |
| Учуучу заттар:< 10 ppb нымдуулук | |
| Бөлүкчөлөрдү кармоо өлчөмү | ≥0,003 мкм |
| Агым диапазону | 0 ~ 120 slpm |
Өлчөмү
Бул жерде сиз заказ кыла турган тетиктин номери жана өлчөмү жөнүндө маалымат берилген:
| Продукциянын модели | Агым ылдамдыгы | Бийиктиги H (мм) | Фильтрациянын тактыгы | Тазалоо деңгээли |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 мүнөт | 51.6 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0,003 мкм | C |
Типтүү колдонмолор
W-мөөрү жана C-мөөрү, 1,125 жана 1,5 дюймдук беттик орнотулган модулдук газ жеткирүү системалары менен колдонуу үчүн.
Бизге билдирүүңүздү жөнөтүңүз:
